声明
第一章 绪论
1.2本文研究的目的及意义
1.3本文研究的思路与结构
1.4半导体行业需求分析
第二章 六西格玛理论知识
2.1六西格玛的基本理论
2.2六西格玛与项目管理
2.3六西格玛发展现状
第三章 项目界定
3.1项目背景
3.2项目目标
3.3项目目标与公司战略目标的一致性
3.4项目团队建设
3.5项目范围
3.6项目财政收益和时间表
第四章 测量阶段
4.1半导体制造流程
4.2半导体测试原理
4.3静态电流测试数据的过程能力检验
4.4因果图
4.5测量工具的重复性和再现性
第五章 分析阶段
5.1低良品率可能性的分析
5.2电性测试的目的
5.3电性测试结果分析
5.4单因子假设检验
5.5单因子假设检验结果
5.6静态电流值分析的结论
第六章 改进阶段
6.1 改进计划
6.2矩阵晶圆验证因子的方法
6.3 矩阵晶圆验证因子的结果
6.4矩阵晶圆测量数据的分析结果
6.5矩阵晶圆测量数据的分析结论
第七章 控制阶段
7.1电流测试的控制
7.2改进后良品率和失效率的控制
第八章 项目总结
8.1 研究总结
8.2 研究展望
参考文献
致谢