声明
第1章 文献综述
1.1 三氯氢硅概述
1.2 检测方法概述
1.3 国内外三氯氢硅的前处理和检测方法研究现状
1.4 本论文主要研究内容
第2章 三氯氢硅前处理
2.1 引言
2.2 实验部分
2.3 前处理原理与结果讨论
2.4 小结
第3章 ICP-MS法测定三氯氢硅中硼元素
3.1 引言
3.2 实验部分
3.3 硼元素测定原理与结果讨论
3.4小结
第4章 Agilent 7700 ICP-MS测定三氯氢硅中磷元素
4.1 引言
4.2 实验部分
4.3 检测原理与结果讨论
4.4 小结
第5章 高纯三氯氢硅中金属杂质的测定
5.1 引言
5.2 实验部分
5.3测定机理与结果讨论
5.4 小结
第6章 高纯三氯氢硅杂质分析质量控制研究
6.1 引言
6.2 影响因素分析与控制
6.3 小结
第7章 结论与展望
7.1 结论
7.2 展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢