声明
第1章 绪论
1.1微纳米测量技术发展现状
1.2原子力显微镜及其发展现状
1.3课题的意义与论文主要工作
第2章 测量系统工作原理
2.1动态AFM的工作原理
2.2白光干涉信号分析方法
2.3本章小结
第3章 复合测量系统优化
3.1复合测量系统架构
3.2复合测量基本思路
3.3本章小结
第4章 图像拼接与单元结构顶点坐标提取
4.1无重叠图像拼接原理
4.2调平平面拟合方法
4.3微阵列结构单元结构定点坐标提取
4.4本章小结
第5章 系统验证与实验分析
5.1原子力显微镜系统的测量实验
5.2白光垂直扫描干涉测量验证
5.3微阵列结构复合测量验证实验
5.4本章小结
第6章 总结与展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢