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目录
1 绪论
1.1 课题背景和意义
1.2 国内外超纯水控制系统的发展概况
1.3 课题研究的主要内容及系统构成
1.4 本章小结
2 超纯水控制系统集成设计
2.1 超纯水系统工艺流程分析
2.2 超纯水控制系统设计
2.3 本章小结
3 控制系统的硬件配置及设计
3.1 超纯水制备系统工艺流程和功能具体分析
3.2 系统设备层设计
3.3 系统控制层硬件设计
3.4 系统网络通信硬件平台的搭建
3.5 本章小结
4 控制系统软件设计
4.1 系统实现的软件环境
4.2 超纯水控制系统组态
4.3 超纯水控制系统程序设计
4.4 本章小结
5 上位监控层设计
5.1 基于InTouch的上位机监控的设计
5.2 InTouch的监控系统和WinCC监控系统数据交互设计
5.3 本章小结
6 超纯水处理控制系统冗余设计
6.1 系统冗余系统架构
6.2S7-400H PLC的冗余硬件设计
6.3 S7-400H冗余控制PLC的工作过程
6.4 本章小结
7 总结与展望
附录
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢