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第一章绪论
§1.1微传感器的研究概况
§1.1.1 MEMS的发展与现状
§1.1.2微传感器的研究进展与发展趋势
§1.2 LB膜的研究概况
§1.2.1 LB膜简介
§1.2.2 LB膜的发展历史和研究动态
§1.2.3 LB膜在微结构传感器方面的应用
§1.3 NO2气敏传感器的研究概况
§1.3.1气敏传感器的分类
§1.3.2气敏传感器的基本结构
§1.3.3 NO2气敏传感器的研究动态
§1.4论文的选题及主要工作的结构体系
第二章基本原理与实验方法
§2.1 LB膜技术简介
§2.1.1 LB膜成膜原理
§2.1.2 LB膜的结构类型及淀积方法
§2.1.3 LB膜技术的特点
§2.1.4 LB拉膜系统
§2.2气敏传感器的主要特性参数
§2.3金属-氧化物-半导体场效应管的基本理论
§2.3.1场效应管的类型
§2.3.2 MOSFET基本结构及工作原理
§2.3.3 MOSFET的静态伏安特性
§2.3.4描述MOSFET性能的主要特性参数
§2.4主要性能的分析测试方法
§2.4.1膜压-面积曲线的测定
§2.4.2紫外-可见分光光度法(UV-Vis)
§2.4.3 X-射线光电子能谱(XPS)
§2.4.4小角X射线散射(SAXS)
§2.4.5原子力显微镜(AFM)
§2.4.6电化学循环伏安分析法(CV)
§2.4.7气敏特性测试方法
§2.4.8其它分析测试方法及仪器
§2.5本章小结
第三章LB膜NO2气体传感器的器件结构设计与制作
§3.1引言
§3.2平面微电极式器件结构
§3.2.1平面微电极式器件的工作原理
§3.2.2器件结构设计及制备工艺
§3.3 LB膜化学场效应管的结构设计与制造
§3.3.1 LB膜化学场效应管的基本原理
§3.3.2 ChemFET的设计原则
§3.3.3 ChemFET的结构设计与制造
§3.4电荷流动场效应管的结构设计与制造
§3.4.1电荷流动场效应管的工作原理及在气体传感器中的应用
§3.4.2 CFT的设计原理
§3.4.3 CFT的结构设计与制造
§3.5本章小结
第四章NO2气敏LB膜的制备及分析表征
§4.1 LB膜的材料选择及制备工艺
§4.1.1有机气敏材料的选择
§4.1.2基片的表面处理
§4.1.3制备工艺
§4.2聚苯胺LB膜的制备及表征
§4.2.1制备方法
§4.2.2气-液界面上聚苯胺单分子膜的行为表征
§4.2.3聚苯胺LB膜的UV-Vis表征及分析
§4.3(i-PrO)4CuPc LB膜的制备及表征
§4.3.1制备方法
§4.3.2气-液界面上(i-PrO)4CuPc单分子膜的行为动态表征
§4.3.3(i-PrO)4CuPc LB膜的UV-Vis表征及分析
§4.4 RE[Pc*]2LB膜的制备及其微观分析和结构表征
§4.4.1 RE[Pc*]2LB膜的制备方法
§4.4.2气-液界面上RE[Pc*]2单分子膜的行为动态研究
§4.4.3 RE[Pc*]2LB膜的UV-Vis表征及分析
§4.4.4 RE[Pc*]2 LB膜的XPS研究
§4.4.5 RE[Pc*]2 LB膜的TEM及AFM表征分析
§4.4.6 RE[Pc*]2 LB膜的SAXS分析
§4.4.7 RE[Pc*]2 LB膜的电化学循环伏安特性研究
§4.5本章小结
第五章LB膜NO2气体传感器的敏感特性研究
§5.1聚苯胺基LB膜的气敏特性研究
§5.2(i-PrO)4CuPc LB膜的导电特性及气敏特性研究
§5.3 RE[Pc*]2 LB膜的NO2气敏特性研究
§5.3.1 RE[Pc*]2LB膜平面电极式器件的NO2气敏特性研究
§5.3.2 RE[Pc*]2 LB膜化学场效应管器件的NO2气敏特性研究
§5.3.3 RE[Pc*]2 LB膜电荷流动场效应管器件的NO2气敏特性研究
§5.4本章小结
第六章LB膜的NO2气敏机理研究
§6.1 LB膜与气体的相互作用原理及理论模型
§6.1.1气体敏感原理
§6.1.2敏感膜与气体相互作用的理论模型
§6.1.3 NO2气敏特性中的几种效应
§6.2气体响应的动力学过程及影响因素
§6.3酞菁LB膜NO2气敏机理的XPS光电子能谱研究
§6.4本章小结
第七章结论与展望
§7.1论文的主要工作总结
§7.2前景展望
参考文献
致谢
博士期间已发表和待发表的论文
