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第一章绪论
1.1课题背景及研究意义
1.2长度量测量方法概论
1.2.1声学测量技术
1.2.2光学测量技术
1.2.3电学测量技术
1.2.4显微镜测量技术
1.2.5其他测量方法
1.3国内外测量技术的发展现状
第二章 系统总体方案设计
2.1系统设计目标
2.1.1测量目标尺寸
2.1.2测量项目与测量点布局
2.1.3测量精度指标
2.1.4测量系统的工作环境要求
2.2测量原理
2.3系统构成
第三章 硬件部分详细设计
3.1底座设计
3.2元件安装台
3.3 X-Y运动平台
3.4步进电机及驱动
3.5厚度测量仪
3.5.1测量仪测头
3.5.2测量仪电控箱
3.6 PLC及AD转换模块
3.7计算机配置
3.8系统抗干扰性设计
第四章 控制程序与管理软件设计
4.1下位机PLC选型及连线
4.1.1 PLC系统规划
4.1.2 PLC系统设计
4.1.3 PLC选型
4.1.4 I/O端口分配及外部线路
4.2 PLC程序设计
4.2.1程序稳定性及安全性设计
4.2.2自动测量
4.2.3手动测量
4.2.4回零
4.2.5安全位置
4.3 PLC与计算机的通信
4.4上位机管理软件设计
4.4.1板厚测量系统管理软件系统设计
4.4.2数据采集
4.4.3数据管理
4.4.4组件管理
4.4.5参数设置
4.4.6系统和帮助
第五章 系统联合调试及结果
5.1联合调试
5.1.1系统功能性调试
5.1.2系统测量准确性调试
5.2误差分析及修正
5.3结果
第六章 结论与展望
6.1结论
6.2展望
致谢
参考文献
附录
在学期间研究成果