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目录
第一章 绪论
1.1 研究背景
1.2 ITO玻璃清洗研究现状
1.3 ITO玻璃清洗存在的问题和发展方向
1.4 干冰微粒喷射清洗的历史和现状
1.5 本课题研究的内容
第二章 干冰微粒喷射法清洗相关理论
2.1 ITO玻璃的表面状态与沾污类型
2.2 吸附与黏附力
2.3 二氧化碳的物理性质
2.4 二氧化碳的固化
2.5 干冰微粒喷射法清洗原理
第三章 干冰微粒喷射法清洗的研究
3.1 干冰微粒喷射实验系统及参数
3.2 ITO玻璃表面洁净度的表征和分析
3.3 正交试验
3.4 实验结果与分析
第四章 OLED器件的制备与测试
4.1 OLED器件制备的试验仪器
4.2 OLED器件的制备
4.3 OLED性能参数测试
第五章 干冰微粒喷射法抛光ITO玻璃的研究
5.1 精密抛光发展研究现状
5.2 精密抛光存在的问题和发展方向
5.3 干冰微粒抛光ITO玻璃
5.4 ITO玻璃表面粗糙度表征
5.5 抛光实验与结果分析
第六章 结论
6.1 研究总结
6.2 主要创新点
6.3 需进一步开展的工作
致谢
参考文献
附 录
硕士研究生期间发表的论文