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目录
第一章 绪 论
1.1 RF MEMS技术概述
1.2 RF MEMS器件的应用实例
1.3 MEMS移相器研究动态
1.4高频率MEMS波导滤波器研究动态
1.5本论文主要研究工作和结构安排
第二章 MEMS分布式移相器等效电路模型研究
2.1 MEMS分布式移相器原理及其特性参数
2.2基于寄生参数提取的MEMS分布式移相器等效电路模型
2.3 基于传输线分解法的MEMS分布式移相器等效电路模型
2.4 本章小结
第三章 小型化易于工艺实现的分布式移相器研究
3.1 MEMS分布式移相器设计方法研究
3.2 X波段五位分布式移相器的加工与测试
3.3 一种弯折型MEMS分布式移相器
3.4 本章小结
第四章 MEMS分布式移相器相移精度研究
4.1 多位MEMS分布式移相器相移误差来源
4.2 一种减小相移误差的多偏置分布式移相器
4.3 多种支撑结构的分布式移相器研究
4.4 本章小结
第五章 RF MEMS开关线型移相器研究
5.1 开关线型移相器原理
5.2 基于单刀多掷开关的五位开关线型移相器设计
5.3 五位MEMS开关线型移相器的加工与测试
5.4 本章小结
第六章 MEMS太赫兹波导滤波器
6.1 太赫兹波导滤波器设计
6.2 MEMS工艺因素和滤波器特性分析
6.3 MEMS太赫兹波导滤波器的工艺与测试
6.4 本章小结
第七章 结 论
7.1 本文主要贡献
7.2 下一步工作展望
致谢
参考文献
攻博期间取得的研究成果