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目录
第一章 绪 论
1.1 课题背景与研究意义
1.2 国内外发展动态和研究现状
第二章 CRD基本结构与原理
2.1 CRD的基本结构
2.2 器件耐压机理
2.3 CRD器件的失效
2.4 本章小结
第三章 CRD器件仿真设计
3.1 低沟道掺杂器件设计
3.2 高沟道掺杂器件设计
3.3 带有负反馈结构的器件设计
3.4 器件的可靠性设计
3.5 本章小结
第四章 版图设计及实验结果
4.1 工艺流程
4.2 版图设计
4.3 流片结果
4.4 本章小结
第五章 结 论
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的研究成果