高速芯片激光打标机的研制

摘要

芯片激光打标机是利用激光在芯片的塑封体上刻印标记，以标明该芯片的型号、厂商、生产日期等信息的自动化设备，该设备主要包括芯片料条上、下料机构、传输机构、定位机构、激光刻印装置等，是集机、电、气、光等一体的高度自动化设备。随着信息化进程的不断加快，对芯片的需求也越来越多，如何提高产能是所有半导体厂所面临的重大问题，芯片激光打标机作为半导体制程中的一个重要环节如何提高其速度也成为亟待解决的问题，同时由于芯片的尺寸越来越小，如何保证打标定位精度以提高良率也变得极为重要。基于上述需求我们研制了这款高速芯片激光打标机。
　　 本文首先分析了该设备的工作原理，然后对各功能机构的功能做了分析，对机构组成进行了设计。接下来对关键机构采用计算机辅助设计方法进行建模、有限元分析以及优化。同时对机器速度进行了分析、提高，通过采用双轨机构提高机器速度，同时对运动机构的运动零部件进行优化以提高速度。最后介绍了机器视觉系统，并根据本设备的工艺需求，设计了机器视觉方向检测系统和机器视觉定位系统，提高了打标速度和达标精度。