基于机器视觉的TFT-LCD点缺陷检测系统的研究

摘要

作为平板显示器（Flat Panel Display，简称FPD）的主流器件，薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor– Liquid Crystal Display，简称TFT-LCD）以其产品轻薄、低功耗、低辐射、高清晰度等优点而广受消费者的青睐。但由于TFT-LCD是属于高精密技术与高材料成本的产业，生产流程复杂，工艺要求极高，制备过程中容易产生各种各样的显示缺陷，尤其是最为常见的点缺陷。
　　作为提高产品品质，降低成本的必要手段，TFT-LCD点缺陷的检测技术显得非常重要。当前，如何在生产线上实现TFT-LCD点缺陷的高速自动检测是TFT-LCD生产研究的重要课题之一。
　　本文在分析研究TFT-LCD点缺陷特征和规律的基础上，提出了一种基于机器视觉技术的TFT-LCD点缺陷检测方法，并依据该方法设计和搭建了一套集机器视觉、数字化图像处理技术为一体的TFT-LCD点缺陷检测系统。该系统在采集得到高质量TFT-LCD的图像的基础上，结合点缺陷的特点，依据本文提出的方法对图像进行处理，最终实现对被测对象TFT-LCD点缺陷快速准确的检测的目的。
　　在硬件系统实现上，设计了由变倍镜头、面阵CCD、图像采集卡及三维移动平台构成的图像采集装置。在软件系统实现上，综合运用图像增强，图像分割，边缘提取等图像识别与处理技术,开发了基于Visual C++ 6.0集成开发环境下的实时采集、图像处理及点缺陷特征识别的软件检测系统。通过对TFT-LCD的典型点缺陷进行试验性检测，取得了令人满意的实验结果，为以后研究处理速度更快、可靠性更高的检测技术奠定了基础。

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第一章 绪论

1.1 研究的目的和意义

1.2 国内外的研究现状

1.3 研究的内容和方法

第二章 TFT-LCD的制备及其显示缺陷

2.1 TFT-LCD面板结构

2.2 TFT-LCD制备工艺

2.3 TFT-LCD显示原理

2.4 TFT-LCD显示缺陷

2.5 显示缺陷的检测

2.6 本章小结

第三章 基于机器视觉的TFT-LCD点缺陷检测系统

3.1 机器视觉简介

3.2 机器视觉系统的组成

3.3 实验系统的构成与分析

3.4 本章小结

第四章 基于机器视觉的图像采集和图像处理

4.1 图像采集

4.2 图像预处理

4.3 图像分割

4.4 结果分析

4.5 本章小结

第五章 总结与展望

5.1 总结

5.2 展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间已发表或录用的论文