声明
答辩决议书
第一章 绪论
1.1 MEMS 技术简介
1.2给药方式
1.3微针介绍
1.4微针的应用系统
1.5本论文的研究意义及主要研究内容
1.6本章小结
第二章 MEMS微针结构设计
2.1引言
2.2微针受力分析
2.3微针结构设计
2.4微针连接结构仿真
2.5本章小结
第三章 MEMS微针制备
3.1引言
3.2微针材料选择
3.3 UV-LIGA工艺
3.4光刻胶热熔
3.5 MEMS微针制备工艺流程
3.6本章小结
第四章 微针应用系统设计及制备
4.1引言
4.2单一微针应用系统设计
4.3同平面微针阵列应用系统设计
4.4单一微针应用系统制备
4.5同平面微针阵列应用系统制备
4.6本章小结
第五章 微针及其应用系统测试
5.1引言
5.2微针力学性能测试
5.3微针流速测试
5.4微创采血器测试
5.5同平面微针阵列注射器测试
5.6本章小结
第六章 总结与展望
6.1研究主要内容与结论
6.2主要创新点
6.3今后展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间发表或录用的论文