基于多孔硅衬底的纳米薄膜材料的制备与表征

摘要

当小颗粒尺寸进入纳米量级的时候(1~100nm),其本身具有量子尺寸效应、介电限域效应、表面效应、和宏观量子效应,因而展现出许多特有的性质,在声、光、电、磁以及生物等方面有广阔的应用前景,同时也将推动基础研究的发展.本论文用电化学方法制备出多孔硅和纳米单晶硅,用热蒸发技术制备了四角状和线性一维ZnO纳米结构,用溶胶凝胶法制备出纳米氧化锌/多孔硅复合薄膜以及纳米羟基磷酸钙/多孔硅复合薄膜,并对各种制备方法进行了详细的研究.对所得的纳米结构进行了表征.

目录

文摘

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第一章绪论

1.1纳米材料与纳米结构的定义

1.2纳米材料的特性

1.3纳米材料的分类

1.4当前硅系纳米复合薄膜的研究及应用

1.5本论文的主要工作

参考文献

第二章纳米复合薄膜的制备方法

2.1等离子体化学气相沉积技术(PCVD)

2.2溶胶凝胶法（sol-gel）

2.3电沉积法(Electrodeposition)

2.4高速超微粒子沉淀法(气相沉淀法)

2.5溅射法(Sputtering)

2.6热分解化学气相沉积技术(CVD)

2.7 LB膜技术

参考文献

第三章多孔硅膜的制备及表征

3.1多孔硅的基本理论

3.2实验装置

3.3电化学阳极氧化腐蚀制备P型多孔硅

3.4电化学阳极氧化腐蚀制备N型多孔硅

3.5选择性形成多孔硅

3.6基于多孔硅膜的基因芯片的初步研究

3.7本章小结

参考文献

第四章纳米羟基磷酸钙/多孔硅复合薄膜材料的制备与表征

4.1引言

4.2目前出现的羟基磷酸钙的制备方法介绍

4.3 Sol-Gel法制备羟基磷酸钙溶胶的反应原理及工艺流程

4.4羟基磷酸钙/多孔硅薄膜的制备与表征

4.5结果与讨论

4.6本章小结

参考文献

第五章纳米氧化锌/多孔硅结构的制备与表征

5.1引言

5.2用热蒸发法在多孔硅衬底上制备ZnO纳米结构

5.3溶胶凝胶法制备纳米氧化锌/多孔硅复合薄膜材料

5.4小结

参考文献

第六章总结

致谢

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