掺杂多晶硅电阻值稳定性的改善

摘要

本论文主要研究内容是掺杂多晶硅在LCD栅极驱动(gate driver) IC(Integrate Circuit)CMOS应用中，作为时钟脉冲发生器(RC振荡器)，遇到的核心功能问题——时钟频率不稳定。 在首先确定了频率不稳定是作为电阻使用的掺杂多晶硅阻值波动的问题后，通过对影响这一阻值的关键步骤——LPCVD多晶硅淀积、多晶硅掺杂的工艺原理分析，设计实验验证优化多晶硅淀积的反应气体浓度分布，优化多晶硅淀积的温度设定，以及使用改变多晶硅离子注入掺杂条件对改善多晶硅阻值波动的作用。

目录

文摘

英文文摘

论文说明：图表目录

声明

第1章引言

1.1国内外TFT-LCD产业的发展

1.2 TFT-LCD液晶显示器的驱动原理

1.3实现多晶硅时钟脉冲器的工艺

1.4论文背景及实际意义

1.5论文研究内容

第2章多晶硅薄膜淀积工艺

2.1多晶硅薄膜的淀积原理

2.2多晶硅淀积LPCVD设备介绍

2.3多晶硅淀积的工艺流程

2.4小结

第3章多晶硅薄膜淀积实验设计和结果分析

3.1数据分析

3.2多晶硅薄膜淀积的实验研究

3.3小结

第4章多晶硅薄膜掺杂工艺

4.1离子注入技术简介

4.2掺杂多晶硅的电学性质

4.3离子注入设备

4.4小结

第5章离子注入实验和结果分析

5.1离子注入研究方案

5.2离子注入法的实际应用

5.3小结

第6章结论

附件

参考文献

致谢