目录
摘要
Abstract
第一章 引言
1.1 研究的背景与意义
1.2 隧穿晶体管的基本特性
1.3 隧穿晶体管的国际研究现状
1.4 本论文的主要内容与安排
第二章 隧穿晶体管的器件仿真
2.1 器件仿真工具简介
2.2 隧穿晶体管的器件仿真
2.3 仿真中需要注意的事项
2.4 本章小结
第三章 隧穿晶体管中的量子效应
3.1 隧穿晶体管中的基本量子效应
3.2 量子效应对隧穿晶体管特性和可靠性的影响
3.3 隧穿晶体管和传统场效应晶体管的比较
3.4 本章小结
第四章 尺寸、材料和结构对隧穿晶体管特性和可靠性的影响
4.1 尺寸缩小对隧穿晶体管的特性和可靠性的影响
4.2 栅介质介电常数对隧穿晶体管特性和可靠性的影响
4.3 栅电极的排列对隧穿晶体管特性和可靠性的影响
4.4 隧穿结的掺杂分布对隧穿晶体管特性的影响
4.5 本章小结
第五章 一种改进型隧穿晶体管的结构参数优化
5.1 改进型隧穿晶体管的器件结构和原理
5.2 改进型隧穿晶体管的结构参数优化
5.3 本章小结
第六章 总结和展望
参考文献
附录 TFET的ATLAS模拟输入文件
攻读硕士学位期间的论文发表情况
致谢
