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第一章:绪论
1.1 MEMS微变形镜及其国内外发展现状
1.2 MEMS器件的优势
1.3表面加工MEMS微变形镜中的粘附问题
1.4 MEMS微变形镜的测试
1.5本文研究目的与主要研究内容
第二章:粘附产生根源及其对微变形镜性能的影响
2.1引言
2.2释放粘附现象的产生根源
2.2.1表面张力
2.2.2范德华力
2.2.3静电力
2.2.4三种力的比较
2.2.5氢键(hydrogen bonding)
2.2.6固体桥接
2.2.7残余应力对粘附的影响
2.3工作粘附的产生根源
2.3.1静电吸引力
2.3.2加速度力
2.4粘附现象对微变形镜的影响
2.5本章小结
第三章:微机械释放粘附控制技术研究
3.1引言
3.2现有的防粘附方法
3.2.1表面形貌的改变
3.2.2表面处理和表面涂层
3.2.3自组装分子膜
3.2.4特殊的牺牲层释放干燥方法
3.3常用的牺牲层释放技术
3.3.1工艺干燥方法研究
3.3.2氟化氢气相刻蚀
3.4本章小结
第四章:微机械工作粘附控制技术研究
4.1引言
4.2物理方法
4.2.1 RIE表面粗糙技术
4.2.2物理改性
4.2.3巧妙结构设计
4.3化学改性
4.3.1自组装单分子膜的优点:
4.3.2低能单层涂层
4.3.3氟化物涂层
4.4典型自组装薄膜沉积技术
4.4.1自组装OTS分子膜的成膜过程
4.4.2自组装FDTS分子膜的成膜过程
4.4.3基于烯烃的单分子膜
4.4.4自组装分子膜的效果测试
4.5本章小结
第五章:MEMS微结构粘附测试技术研究
5.1引言
5.2分离长度测试法原理
5.2.1悬臂梁结构
5.2.2简支梁结构:
5.3水滴接触角测试原理
5.4 MEMS微变形镜粘附研究
5.5 MEMS微变形镜及测试结构工艺实验
5.5.1粘附测试结构的版图设计
5.5.2测试结构加工过程
5.5.3牺牲层释放方案研究
5.5.4实验结果与讨论
5.6本章小结
第六章:分立式微变形镜测试技术
6.1引言
6.2 MEMS测试方法
6.2.1 MEMS运动参数的注入干涉测量法
6.2.2 Fabry-Perot结构用于振动测量
6.3 MEMS微变形镜测试
6.3.1 MEMS微变形镜三维形貌与变形测量
6.4本章小结
总结与展望
总结
展望
参考文献
硕士期间发表的学术论文和申请的专利
参与课题情况
致谢
西北工业大学业学位论文知识产权声明书及西北工业大学学位论文原创性声明