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目录
第 一 章 绪 论
1.1 MEMS建模与仿真
1.2模型降阶方法
1.3 TPWL方法研究现状
1.4降阶方法在MEMS中的应用
1 .5论文的研究目的与主要研究内容
第二章TPWL方法的基本原理及关键技术
2.1 TPWL方法的基本思想
2.2 TPWL方法的基本原理
2.3 TPWL方法的实施流程
2.4 TPWL宏建模的关键技术环节
2 .5本章小结
第三章基于TPWL方法的热电耦合问题宏建模
3 .1热电耦合控制方程
3 .2有限元离散
3 .3宏模型提取
3 .4数值算例
3 .5本章小结
第四章基于全局最大误差控制的改进TPWL方法
4 .1线性化点选择算法回顾
4 .2新的线性化点选择算法
4 .3有效性检验
4 .4本章小结
第五章改进的TPWL方法在MEMS热电器件中的应用
5 .1控制方程
5 .2宏模型提取
5 .3平板式热微执行器
5 .4柔性热微执行器
5 .5本章小结
第六章结合POD的二次选点TPWL-GMEC方法及其应用
6.1二次选点算法
6.2基于POD的投影矩阵构造
6 .3结合POD的二次选点TPWL-GMEC方法
6 .4有效性检验
6.5方法在MEMS中的应用
6 .6本章小结
第七章总结与展望
7 .1工作总结
7 .2论文的主要创新点
7 .3工作展望
参考文献
攻读博士学位期间发表论文及参加科研情况
致谢
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