声明
摘要
1 绪论
1.1 太阳能电池简介
1.2 硅基薄膜太阳能电池的简介
1.2.1 硅基薄膜太阳能电池的优点
1.2.2 硅基薄膜太阳能电池的制备方法
1.2.3 硅基薄膜太阳能电池的结构
1.3 原子点阵排列对薄膜性能的影响
1.4 实验的研究目的及意义
2 试样制备和实验方法
2.1 试样基材
2.2 硅基薄膜的制备
2.2.1 PECVD设备简介及其工作原理
2.2.2 镀膜过程及实验参数
2.3 硅基薄膜的微观组织和电学性能检测
2.3.1 薄膜的晶体结构分析
2.3.2 薄膜的厚度分析
2.3.3 薄膜的表面形貌
2.3.4 薄膜的电学性能分析
2.4 技术路线
3 射频功率对硅基薄膜微观结构及电学性能的影响
3.1 不同射频功率下硅基薄膜的微观结构
3.1.1 不同射频功率下沉积的硅基薄膜XRD分析
3.1.2 不同射频功率下沉积硅基薄膜TEM分析(高分辨)
3.1.3 不同射频功率下沉积硅基薄膜的厚度分析
3.1.4 不同射频功率下沉积硅基薄膜的表面形貌及粗糙度分析
3.2 不同射频功率下硅基薄膜的电学性能
3.3 本章小结
4 不同射频功率下制得硅膜的晶化难易程度对比分析
4.1 硅基薄膜退火处理后微观结构分析
4.1.1 不同射频功率、相同退火温度处理后薄膜的晶体结构分析
4.1.2 相同功率,不同退火温度的晶体结构分析
4.2 退火处理后硅基薄膜电学性能分析
4.2.1 不同功率,相同退火温度的电学性能分析
4.2.2 相同功率,不同退火温度的电学性能分析
4.3 硅基薄膜在不同退火条件下的重组模型
4.3.1 不同功率下的薄膜生长模型
4.3.2 不同退火温度下的薄膜结构重组模型
4.4 本章小结
5 结论
致谢
参考文献