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目录
第一章 绪论
1.1 纳米结构
1.2 有序纳米结构的制备
1.3 离子束刻蚀技术研究进展
1.4 本文的研究内容及作者的主要工作
第二章 低能离子束刻蚀理论模型与仿真分析
2.1 几种离子束刻蚀理论模型
2.2 基于 Sigmund 理论的波纹形成模型
2.3 MCB 生长方程的线性理论分析
2.4 非线性理论
2.5 小结
第三章 自组织纳米结构制备与特性表征
3.1 自组织纳米结构制备
3.2 自组织纳米结构特性表征
3.3 数据分析与处理
3.4 小结
第四章 低能离子束刻蚀单晶硅实验及结果分析
4.1 样品的制备
4.2 不同离子束角度参数实验结果与分析
4.3 离子束流参数实验结果与分析
4.4 离子束入射能量实验结果与分析
4.5 离子束刻蚀时间实验结果与分析
4.6 分析讨论
4.7 小结
第五章蓝宝石自组织纳米结构的制备与表征
5.1 样品制备
5.2 不同离子束参数的研究与结果分析
5.3 纳米结构的光学性能
5.4 分析讨论
5.5 小结
第六章 结论
致谢
参考文献
攻读博士学位期间的研究成果