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独创性说明
1绪论
1.1半导体气体传感器的发展历程
1.2本文开展的主要工作
2气敏元件的制作
2.1 SnO2敏感材料的制备
2.1.1化学试剂及实验设备的选取
2.1.2反应原理及粉末制取流程
2.2粉体的表征
2.2.1物相分析
2.2.2晶粒大小分析
2.3气敏传感器的制作
2.3.1气敏元件的分类
2.3.2掺杂SnO2气敏元件的结构和特性
2.3.3气敏元件的制作工艺流程
3 CO测试系统的设置
3.1测试电路及工作原理
3.2整个测试系统的组建
3.3测试CO气体的条件、方法和参数
3.3.1测试条件
3.3.2测试方法
3.3.3测试参数
4不同重金属掺杂对CO的响应分析和比较
4.1加热电压的测定
4.2清洗采样时间的确定
4.3五种重金属掺杂对CO的检测
4.4五种元件检测CO灵敏度的比较
4.4.1检测100ppmCO时的灵敏度比较
4.4.2五种元件灵敏度随气体浓度的变化
4.4.3元件灵敏度随时间的稳定性变化
4.4.4响应时间和恢复时间比较
4.4.5样品的分散性
4.5测试影响因素分析
4.6干扰气体对检测CO结果的影响及相关分析
4.6.1元件对CH4的测试结果及分析
4.6.2 H2对CO测试结果的影响
5新型A12O3基底微结构阵列式气体传感器
5.1 A12O3微结构体的热设计
5.2 A12O3陶瓷基片的制作工艺
5.3加热器及电极材料的选取
5.4基于MEMS技术的阵列式微结构气体传感器的制作过程
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
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