共面介质阻挡放电应用于薄膜制备的研究

摘要

本文对共面介质阻挡放电应用于薄膜制备进行了研究。结果表明，当以钛酸四异丙酯作为前驱体时，由于其饱和蒸汽压太低，在现有的实验条件下难以制备大面积均匀的TiO<,2>薄膜。而当以四氯化钛为前驱体时，能够在大气压和室温条件下制备出高度晶化并具有较好光催化活性的TiO<,2>薄膜。利用制作的共面放电反应器，在大气压和室温条件下成功地制备出碳氟薄膜。SEM观测结果表明，呈现均匀的纳米多孔结构。XPS结果表明薄膜表面含有大量的季碳原子。

目录

文摘

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声明

引言

1共面放电电极的设计

1.1文献综述

1.1.1介质阻挡放电的研究背景

1.1.2 DBD介质阻挡放电的分类与特点

1.1.3共面放电电极的原理

1.2共面放电电极的设计

1.2.1实例一

1.2.2实例二

1.2.3实例三

1.3共面放电电极的放电特性

1.3.1放电功率的测定

1.3.2临界电压现象

1.3.4共面放电的优点

1.4共面放电发射光谱的研究

1.4.1对谱图的分析

1.4.2放电电压对峰高的影响

2共面放电在二氧化钛薄膜制备方面的初步研究

2.1文献综述

2.1.1二氧化钛的研究背景

2.1.2二氧化钛光催化原理

2.1.3二氧化钛的应用

2.2实验部分

2.2.1实验装置

2.2.2实验过程

2.3光催化活性评价方法

2.4形貌及结构表征

2.4.1扫描电子显微镜结果

2.4.2傅立叶变换红外光谱结果

2.4.3实验中存在的问题

2.5以TiCl4为前驱体沉积TiO2薄膜简介

2.5.1实验过程

2.5.2薄膜表征

2.6本章小结

3共面放电应用于碳氟膜的制备

3.1文献综述

3.11聚四氟乙烯(PTFE)的特性及应用

3.12等离子体法制备碳氟膜的研究进展

3.2实验部分

3.2.1实验设备

3.2.2实验中参数的优化

3.3对薄膜的表征

3.3.1原子力显微镜及扫描电子显微镜对形貌的表征

3.3.2透射电子显微镜对形貌的表征

3.3.3傅里叶变换红外光谱对结构的表征

3.3.4 X射线光电子能谱仪对表面结构的表征

3.3.5接触角的测定

3.4结果讨论

3.3.1对薄膜结构的讨论

3.3.2对薄膜亲水性的讨论

结论

参考文献

附录

攻读硕士学位期间发表学术论文情况

致谢