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声明
引 言
1 GaSb物理特性
1.1 GaSb结构特性
1.2热学特性
1.3 电子特性和电子传输特性
1.4光学特性
1.5缺陷和掺杂
2光伏电池基本理论
2.1 电学特性
2.1.1单色光光电流计算
2.1.2等效电路及I-V特性
2.1.2暗电流
2.1.3开路电压
2.2少子寿命
2.3 串联电阻、旁路电阻对电池I-V特性的影响
2.4太阳电池转化效率
3 GaSb表面阳极氧化和化学刻蚀
3.1 阳极氧化
3.1.1 GaSb阳极氧化原理及电学特性分析
3.1.2原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度
3.2 GaSb化学刻蚀
4 GaSb太阳电池制备
4.1 GaSb样品制备
4.1.1清洗与腐蚀
4.1.2 SiO2掩膜制备
4.1.3光刻
4.1.4刻蚀SiO2掩膜
4.2扩散原理及工艺
4.2.1 Zn扩散的微观机制
4.2.2理论拟合
4.2.3 内部量子效率与外部量子效率
4.2.4影响电池效率的因素
4.2.5实验工艺
4.3制作电极
4.4制作减反射膜
4.5 GaSb电池效率及结果讨论
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致 谢