溶胶-凝胶法制备BaSrTiO薄膜及其性能研究

摘要

该文对采用溶胶-凝胶法(Sol-gel法)制备的Ba<,x>Sr<,1-x>TiO<,3>(BST)薄膜的工艺进行了初步研究,制备出了光滑均一的BST薄膜.对不同情况下制备出的薄膜的结构进行了分析研究,重点对BST薄膜的介电性能进行了研究,并尝试对实验结果做出解释.对BST薄膜的介电性能进行研究,从几方面入手.着重研究了BST薄膜的介电性能随着频率变化的关系;BST薄膜的介电性能随Ba/Sr比例变化的关系;BST薄膜的介电生能随厚度变化的关系;以及Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>(BST55)薄膜的介电性能的差别.在薄膜的铁电性能方面,实验中并未能观察到较好的电滞回线,但提出了相应的解释和进一步研究的方向.

目录

摘要

Abstract

第一章引言

1-1铁电材料的研究历史

1-2 BaxSr1-xTiO3薄膜的研究现状

1-3制备方法

参考文献

第二章实验安排

2-1实验原理

2-1-1磁控溅射 的基本原理和实验仪器

2-1-2溶胶-凝胶法基本原理

2-1-3后处理装置

2-2电极的制备

2-3溶胶的配制

2-4 BST溥膜的制备

参考文献

笫三章BaxSr1 x TiO3薄膜的结构形貌表征

3-1 扫描电子显微镜

3-1-1 扫描 电镜的工作原理

3-1-2 BST薄膜的SEM分析

3-2 X射线衍射

3-2-1 X射线衍射的基本原理

3-2-2 BST 溥膜的X射线衍射分析

参考文献

第四章BaxSr1 x TiO3溥膜性能分析

4-1介电性质

4-1-1 介电常数与介质损耗

4-1-2极化的产生

4-1-3介电驰豫

4-1-4 BST薄膜的介电性能

4-2铁电性能

4-2-1铁电畴和畴的运动

4-2-2 BST薄膜的铁电性质

参考文献

第五章结论

附录一攻读硕士学位期间发表的论文

致谢