声明
摘要
第一章 绪论
1.1 课题背景及研究意义
1.2 国内外发展现状
1.2.1 等离子体处理设备相关现状
1.2.2 等离子体处理均匀性相关现状
1.2.3 卷绕传送系统相关现状
1.3 本课题主要研究工作
1.4 本章小结
第二章 方案设计
2.1 放电模型的建立
2.1.1 等离子体放电类型选择
2.1.2 射频电源功率模型
2.2 结构方案设计
2.2.1 初始方案模型
2.2.2 改进方案模型
2.2.3 拟定方案模型
2.3 其他主要结构的设计
2.3.1 真空系统的设计
2.3.2 气路系统的设计
2.3.3 电控系统的设计
2.4 本章小结
第三章 数学建模与仿真
3.1 研究内容与研究方法
3.1.1 研究内容
3.1.2 研究方法
3.2 数学建模
3.2.1 流体基本状态的判定
3.2.2 管道流体的基本模型
3.2.3 布气模型的建立
3.2.4 布气系统尺寸的确定
3.3 流体理论与软件简介
3.3.1 CFD基本模型
3.3.2 Fluent软件简介
3.3.3 网格的生成
3.4 流体仿真
3.4.1 流体模型
3.4.2 网格划分
3.4.3 边界条件确定
3.5 仿真结果与分析
3.5.1 等孔径流场分布云图
3.5.2 变孔径流场分布云图
3.6 本章小结
第四章 卷绕传送设计与控制
4.1 技术要求和总体方案
4.1.1 卷绕传送的技术要求
4.1.2 卷绕传送系统的总体方案
4.2 弯辊的工作原理与展平能力
4.2.1 弯辊的作用机理
4.2.2 弯辊的数学模型
4.2.3 弯辊对薄膜的扩展量
4.3 卷绕传送的控制
4.3.1 控制的意义及方法的选择
4.3.2 恒张力控制的数学模型
4.3.3 恒线速度控制的数学模型
4.3.4 控制器件的选择及控制系统的设计
4.4 本章小结
第五章 实验研究与验证
5.1 实验目的与实验方法
5.1.1 实验目的
5.1.2 实验方法
5.2 PVDF薄膜的等离子体改性处理
5.2.1 PVDF薄膜改性目的
5.2.2 PVDF薄膜实验工具与测试方法
5.2.3 PVDF薄膜处理结果与分析
5.3 丙纶隔膜的等离子体改性处理
5.3.1 丙纶隔膜改性目的
5.3.2 丙纶隔膜实验工具与测试方法
5.3.3 丙纶隔膜处理结果与分析
5.4 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 本文总结
6.2 课题展望
参考文献
攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文
致谢