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【6h】

含空位缺陷硅纳米器件失效机制的理论研究计算

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秦汉签名

秦汉签名2

大论文终稿--秦汉

第一章 绪论

1.1 研究背景及意义

1.2 国内外研究现状

1.3 论文的主要研究内容

第二章 仿真计算的基本原理与方法

2.1 分子动力学

2.2 第一性原理

2.3 半导体隧穿电流

2.4 半导体C-V特性

2.5 仿真计算软件

2.6 本章小结

第三章 电场对含空位缺陷硅和二氧化硅结构的影响

3.1分子动力学模拟

3.2第一性原理计算

3.3 本章小结

第四章 电场对含空位缺陷硅/二氧化硅界面结构的影响

4.1 硅/二氧化硅界面

4.2分子动力学模拟

4.3 第一性原理计算

4.5 本章小结

第五章 总结与展望

5.1 研究总结

5.2 研究展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文

致 谢

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