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Cu催化化学刻蚀制备多晶硅太阳电池纳米绒面的研究

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第一章 引 言

1.1 晶体硅太阳电池简介

1.2 晶体硅太阳电池的基本工艺

1.3 晶体硅太阳电池的纳米陷光结构

1.4 本文的研究意义和主要内容

第二章 Cu-MCCE制备表面纳米结构及其表征方法

2.1 Cu-MCCE制备表面纳米结构的实验过程

2.2 Cu-MCCE制备表面纳米结构的实验原理

2.3 多晶硅表面纳米结构的表征方法

第三章 Cu-MCCE各参数对纳米陷光结构的调控和分析

3.1 Cu颗粒沉积与溶解动态循环现象探究

3.2 刻蚀温度对硅片表面纳米陷光结构的影响

3.3 H2O2/HF的摩尔浓度比对硅片表面纳米陷光结构的影响

3.4 Cu2+摩尔浓度对硅片表面形貌的影响

3.5 刻蚀时间对硅片表面纳米陷光结构的影响

3.6 本章小结

第四章 Cu-MCCE制备太阳电池及其他应用探究

4.1 修饰液对硅片表面形貌的结构优化及电池片性能研究

4.2 一步法 Cu-MCCE与两步Cu-MCCE比较研究

4.3 一步法Cu-MCCE对金刚线切多晶硅片刻蚀技术研究

4.4 本章小结

第五章 总 结

参考文献

攻读硕士期间公开发表的论文及科研成果

致 谢

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