声明
第一章 绪 论
1.1 研究背景及意义
1.2 氮化物薄膜的研究现状
1.3 氮化物薄膜的制备方法
1.4 课题研究内容
第二章 实验材料与研究方法
2.1 实验材料
2.2 样品
2.3 薄膜的表征
2.4 薄膜力学性能测试
第三章 CrAlN薄膜的制备与性能研究
3.1 前言
3.2 形貌及相结构
3.3 力学性能
3.4 摩擦磨损行为
3.5 小结
第四章 CrN/CrAlN多层薄膜的制备与性能研究
4.1 前言
4.2 形貌及相结构
4.3 力学性能
4.4 摩擦磨损行为
4.5 小结
第五章 热处理对CrN/CrAlN多层薄膜性能的影响
5.1 前言
5.2 形貌及相结构
5.3 力学性能
5.4 摩擦磨损行为
5.5 小结
第六章 结 论
参考文献
致谢
攻读学位期间的研究成果