以PEG200为基体的线切割液基液的配制及其表面张力的测定

摘要

本文主要研究了在光伏产业以及半导体产业中广泛应用的线切割液的表面张力性能。
　　 本文以国标滴体积法为基础，改进建立了一种测定表面张力的方法，特点是仪器简单，测试成本低，样品量需要很小，测定结果准确。考察线切割液的配制方法，以PEG200为基体，在其中加入不同种类和量的表面活性剂以及消泡剂或乳化剂后，复配出各种线切割液基液。用改进的滴体积法测定其表面张力大小，并与市售商品线切割液的表面张力数据进行比较，从而得出较优的复配方案。单独添加表面活性剂时，使得PEG200达到所需的表面张力大小即35mN/m时，一般需要的添加量都达到10％或以上，并且单独添加表面活性剂时，会使PEG200体系容易起泡。在此基础上再次添加少量消泡剂之后，要达到相同的减小表面张力效果时，复配方式的添加量为3％以下，远远小于单独添加时的10％。

目录

声明

摘要

1 绪论

1．1 全球能源现状

1．2 光伏产业

1．3 多线切割液

1．4 PEG的性质、生产状况及主要应用

1．4．1 PEG的性质

1．4．2 PEG的生产状况

1．4．3 PEG在工业中的广泛应用

1．5 表面张力及其测定

1．5．1 表面张力的影响因素

1．5．2 表面张力的测定方法

2 线切割液的配制及其表面张力的测定

2．1 实验仪器与试剂

2．2 实验装置的准备

2．2．1 准备洁净干燥的毛细管

2．2．2 实验装置的连接

2．3 切割液基液的配置

2．3．1 配置一系列含不同量消泡剂和表面活性的PEG溶液(表面活性剂、消泡剂的质量与PEG200体积之比)

2．3．2 准备市售线切割液

2．4 本文表面张力测定方法的建立

2．4．1 毛细管的选取、半径的测量及校正

2．4．2 实验准确性的验证

2．4．3 滴体积的具体操作

2．5 实验数据的记录

3 实验结果处理分析与讨论

3．1 实验数据的计算处理

3．2 分析表面活性剂及消泡剂对线切割液基液的表面张力的影响

3．2．1，单独加入表面活性剂A、B、C、D后，PEG的表面张力

3．2．2，复配效应的影响

3．2．3 生产用回收液重新配置基液的表面张力大小的测定

3．2．4 单独添加表面活性剂与复配效应的比较

3．2．5 测定市售商品线切割液的表面张力大小

3．3 结论

致谢

参考文献

附录A