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第一章绪论
第二章硅微惯性敏感器结构有限元模型的建立
第三章硅微惯性敏感器的模态分析与刚度设计
第四章硅微惯性敏感器的动力学响应研究
第五章硅微惯性敏感器的静电场问题分析与研究
第六章温度场对硅微惯性敏感器的影响
第七章结论与展望
参考文献
攻读博士学位期间发表的论文
致谢
李明;
东南大学;
硅微惯性敏感器; 敏感器件; 陀螺仪; 有限元分析; 数值模拟; 刚度设计; 优化设计;
机译:螺旋微通道微粒惯性聚焦的数值模拟研究
机译:网状高速硅光学位置敏感器件的设计与性能
机译:柔软的微敏感器出现。
机译:插值硅光倍增器:一种新型位置敏感器件,具有亚丘空间分辨率和互动能力深度
机译:数值模拟研究微磁性
机译:基于微通道和微引脚芯片的硅与硅直接粘接的微通道和微销翅片的实验研究
机译:含有微硅和胶态微硅的自排水铝零水泥耐火浇注料的热机械强度含有微硅和微硅,胶态二氧化硅的自流零水泥高铝浇注料的高温机械强度
机译:微空间微惯性参考系统
机译:惯性敏感器件
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