硅基双势垒MIMIS隧道发光器件的研究

摘要

该课题对硅基双势垒隧道发光器件的制作工艺、光电特性等进行了比较系统的研究,取得了一些有意义的结果.主要在以下几个方面:首先,在前人设计的MIS器件制作工艺基础上,研究人员对硅基隧道发光器件工艺线制作工艺作了进一步的探索,设计出了一套MIMIS器件制作工艺,并利用工艺线成功制作出了MIMIS隧道发光器件,解决了工艺设计和器件制作过程中遇到的许多问题,并提出了更完善的MIMIS器件制作工艺设计.其次,研究人员测量了所抽行的MIMIS器件光学和电学性能,并与MIS器件进行了比较.再次,研究人员采用了谐振子能级跃迁的理论来解释负阻现象.最后,研究人员采用光波导理论中模式耦合的原理分析了MIN隧道结棱镜耦合发光情况.

目录

文摘

英文文摘

绪论

第一章 隧道发光器件原理

§1.1金属等离振荡

§1.2电子隧穿与SPP的激发

§1.3 SPP色散关系及其模式

§1.4 SPP耦合与光的产生

第二章 MIS与双势垒隧道发光结

§2.1硅基隧道发光器件(MIS)原理与性能

§2.2双势垒隧道发光器件原理与性能

第三章 结构和工艺设计

§3.1结构设计

§3.2工艺设计

第四章 MIMIS器件性能及分析

§4.1 MIMIS器件俄歇分析

§4.2 MIMIS器件的粗糙度分析

§4.3 MIMIS器件的光学性能

§4.4 MIMIS器件电学性能

第五章 棱镜耦合与光的增强

§5.1 MIM隧道结的模式直接耦合

§5.2 MIM隧道结直接耦合的模式分析

§5.3实现光的谐振及加强的设想

第六章 结束语

§6.1工作小结

§6.2研究展望

参考文献

致谢