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第一章 绪论
1.1 研究背景
1.1.1 超短脉冲激光技术发展史
1.1.2 超短脉冲激光技术的应用
1.2 研究现状
1.3 本文主要研究内容
第二章 超短脉冲激光烧蚀的机理
2.1 激光产生的原理
2.2 超短脉冲激光的加热与烧蚀机理
2.2.1 超短脉冲激光加热机理
2.2.2 长脉冲激光的烧蚀机理
2.2.3 超短脉冲激光的烧蚀机理
2.2.4 国内外研究进展
2.3 本章小结
第三章 超短脉冲激光加F MEMS器件材料的烧蚀微观理论模型
3.1 Fokker_Planck方程
3.1.1 自由电子弛豫过程的理论描述
3.1.2 福克尔—普朗克方程
3.1.3 福克尔—普朗克方程的推导过程
3.2 超短脉冲激光烧蚀的耦合理论模型
3.2.1 自由电子分布的动理论方程
3.2.2 自由电子弛豫时间与能量的关系
3.3 超短脉冲激光烧蚀的耦合理论模型的数值求解方法
3.3.1 偏微分方程及有限差分法
3.3.2 Runge-Kutta方法
3.3.3 超松弛迭代法
3.3.4 超短脉冲激光烧蚀的耦合理论模型的数值求解
3.4 模拟计算结果及讨论
3.4.1 超短脉冲激光烧蚀二氧化硅材料的数值模拟结果
3.4.2 超短脉冲激光烧蚀氟化钙材料的数值模拟结果
3.5 本章小结
第四章 总结与展望
4.1 总结
4.2 展望
致谢
参考文献
作者简介
东南大学;