具有光敏性和辐射聚合性溶胶-凝胶玻璃的制备及其在微光学中的应用

摘要

本文制备了一种新颖的具有光敏性和辐射聚合性的HfO2-SiO2混合溶胶-凝胶玻璃。我们分别采用紫外线、X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光，通过FTIR的测试，分析了薄膜曝光前与曝光后的结构变化，表明该材料具有良好的光敏性和辐射聚合性。X射线光电子能谱表明凝胶薄膜中含有C、Si、O、Hf四种元素。 通过对材料光学性能、力学性能和热稳定性的分析，证明该材料具有良好的光学性能、力学性能、热稳定性和化学稳定性。而且HfO2-SiO2混合体系的光学性能与TiO2-SiO2、ZrO2-SiO2体系相比有所提高。 最后，利用其光敏性和辐射聚合性分别制备了衍射光栅。使用这种方法制备衍射光栅省去了传统方法中繁琐的刻蚀步骤，不再使用昂贵的刻蚀机。所以，使用这种方法制备微光学元件其方法简单，设备容易操作，而且成本低廉。同时，我们也采用了较简单的方法制备了微透镜阵列。

目录

文摘

英文文摘

第一章绪论

第二章溶胶-凝胶法制备薄膜概述

第三章HfO2-SiO2混合溶胶-凝胶的制备及性能表征

第四章HfO2-SiO2凝胶薄膜的制备及其性能测试

第五章HfO2-SiO2混合溶胶-凝胶在微光学中的应用

第六章结论

致 谢

参考文献

硕士学位论文期间发表的论文

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