基于激光三角法厚度绝对测量技术研究

摘要

在科学技术迅速发展的今天，外形尺寸的测量一直是工业生产中的一个重要环节，厚度测量更是人们关注的焦点。在测厚领域里，采用激光三角法这一典型的非接触式测量方法对物体的厚度进行绝对测量不仅能满足测量的实时性，还能保证测量的高精确度。这种测量方法已经成为工业生产的发展趋势。
　　 本文所提出的基于激光三角法厚度绝对测量技术一改从前的单光路激光扫描测量技术，采用双光路半导体激光技术与直射型激光三角法相结合，同时对平板物体进行绝对的测量，提高了测量速度与精度。文中主要包括总体方案的设计和由此涉及的关键技术、测量原理、精度与误差、实验等几个部分，并采用新引进的仪器设备对此项理论的应用进一步提供了数据验证。

目录

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英文文摘

声明

第一章 绪论

1.1引言

1.2课题研究

1.2.1课题研究来源

1.2.2研究的目的和意义

1.3国内外发展现状

1.3.1国外发展现状

1.3.2国内研究现状

1.3.3展望

1.4主要研究内容

第二章 厚度测量方法及设计方案

2.1 测厚技术

2.2 总体设计思路

2.3 总体结构布局

2.3.1系统的组成

2.3.2总体结构布局

第三章 激光三角法

3.1激光三角法原理分析

3.1.1激光三角法测量的类型及区别

3.1.2激光三角法测量基本原理

3.1.3 Scheimpflug Condition(沙姆条件)

第四章 光学系统及CCD的选择

4.1引言

4.2光源

4.3聚焦系统与成像系统

4.3.1聚焦透镜

4.3.2成像透镜

4.4光电转换器件CCD

4.4.1 CCD简介

4.4.2线阵CCD型号指标

4.5 CCD应用于平板厚度检测

4.5.1基本原理

4.5.2平板厚度检测系统

第五章 测量模型和实验系统

5.1测量模型

5.1.1激光三角法测量绝对厚度

5.1.2 LK-G选取的型号

5.2 LK-G测量系统原理

5.3测厚系统系列实验

5.3.1实验装置

5.3.2测量步骤

5.3.3测量结果

5.3.4数据分析

5.4系统的标定

5.4.1标定的方法

第六章 误差与精度分析

6.1误差分析

6.1.1系统误差分析

6.1.2随机误差分析

6.2精度分析

6.3结论

致 谢

参考文献