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张薇;
长春理工大学;
多光束激光干涉图案; 移相定位系统; 光刻工艺; 纳米技术; 驱动器; 电压源;
机译:光束整形光学器件在激光干涉光刻中用于晶片级纳米图案的应用
机译:利用直接激光干涉图案中的顶帽激光强度的基本光束模式整形技术
机译:在直接激光干涉图案化中利用基本光束模式整形技术处理顶帽子激光强度
机译:两光束激光干涉光刻中的相移控制
机译:具有中央pi相移光栅的表面发射二阶分布式反馈激光器在单瓣光束图案中的单模工作。
机译:直接激光干涉图案优化分析模型的开发
机译:通过参数控制的三光束激光干涉技术生成周期性的微结构和纳米结构
机译:对称潜望镜用于超高精度激光干涉光束发射器中的同心光束配置
机译:通过使用参考激光束和测量激光束形成的相干图案来测量目标物体位移的激光干涉仪,以及使用该干涉仪的位移测量系统
机译:激光干涉仪中具有可选相移的光束干涉场的制造方法及制造方法
机译:基于减少平面激光照明光束空间相干性的散斑图案减少方法及其装置,在光束传输目标之前通过应用空间相移技术将光束照射到目标上,从而减少了平面激光照明光束的空间相干性。
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