双层电极结构的有机薄膜晶体管及其5阶振荡器的研究

摘要

有机薄膜晶体管是有机集成电路中基本单元器件之一。为了把有机集成电路推向实用，人们开展了大量的研究，其中大部分的研究又以提高器件的迁移率和开关电流比、降低器件的阈值电压为主要目标。经过数十年的发展，有机半导体的研究不再局限于单器件的研究，集成电路的构建逐渐成为该领域的首要目标。
　　 本文围绕着OTFT的性能改善，在OTFT的迁移率提高及其集成电路制备等方面开展了以下创新研究：⑴从理论和实验两个方面研究了有机薄膜晶体管的界面态对器件迁移率的提高，提出了双层电极结构的有机薄膜晶体管对提高载流子注入效率作用。双层电极结构是金属氧化物ZrO2过渡层和金属电极。⑵根据COMS工艺设计和制备5阶环形振荡器，采用COMS工艺制备的互补型反相器的增益达到了2.5。