碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测

摘要

由于工业生产、环境监测等领域对气体传感器的要求越来越高，因此，对气体传感器的研究也愈显重要。碳纳米管凭借其独特的物理、化学性质被应用到气敏传感器中，为提升气敏传感器的性能开辟了一条新的途径。
　　首先利用仿真软件对叉指微电极进行了电场强度的仿真以获得合理的结构参数;再通过光刻技术在导电玻璃表面制备了最小指间距约为4μm的叉指微电极;用循环伏安法表征了其电化学特性，并用多壁碳纳米管为敏感材料制成敏感元件;分别在有光和无光条件下检测了传感器的气敏性能;通过搭建的光电检测系统检测了碳纳米管薄膜的光电特性，并对实验结果做了初步的分析与推断:纳米修饰的气敏传感性能在光照条件下有了明显的提高。

目录

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摘要

第1章 绪论

1．1 碳纳米管气敏传感器微电极研究现状

1．2 碳纳米管气敏传感器检测机理研究现状

1．3 论文研究的主要内容

第2章 叉指微电极建模与参数优化设计

2．1 引言

2．2 叉指微电极材料的选取

2．3 叉指微电极的结构仿真

2．4 叉指微电极的结构参数优化

第3章 光刻技术制备叉指微电极

3．1 微电极制备技术概述

3．2 接触式光刻技术制备叉指微电极

3．3 实验部分

第4章 碳纳米管气敏传感器微电极的检测

4．1 叉指微电极的电化学检测实验

4．2 碳纳米管薄膜修饰叉指微电极实验

第5章 碳纳米管气敏传感器气敏性能的检测

5．1 光电检测系统的搭建

5．2 相干检测及噪声处理

5．3 碳纳米管气敏传感器气敏性能实验

5．4 碳纳米管薄膜的光电性能检测实验

第6章 结论及展望

参考文献

致谢