声明
摘要
1 绪论
1.1 引言
1.2 太阳电池原理
1.3 薄膜太阳电池的研究进展
1.3.1 硅基薄膜太阳电池
1.3.2 Cu(In,Ga)(S,Se)2(CIGSSe)薄膜太阳电池
1.3.3 CdTe薄膜太阳电池
1.3.4 新型薄膜太阳电池光吸收层材料
1.4 化合物薄膜材料的制备方法
1.4.1 蒸发法
1.4.2 磁控溅射法
1.4.3 电沉积法
1.4.4 前驱体涂覆法
1.4.5 溶液法
1.5 本论文的研究内容及目的意义
1.5.1 研究内容
1.5.2 研究目的及意义
2 实验方法
2.1 实验试剂
2.2 实验仪器
2.3 检测表征仪器设备
2.4 连续离子层吸附反应法制备金属硫化物薄膜
2.4.1 实验设备
2.4.2 连续离子层吸附反应法(SILAR)的基本原理
2.5 薄膜太阳电池器件制备工艺
2.5.1 磁控溅射制备背电极Mo
2.5.2 化学水浴法制备CdS缓冲层
2.5.3 磁控溅射制备本征氧化锌(i-ZnO)和ITO
3 SILAR法制备Cu-Sn-S系薄膜及其光电性能的研究
3.1 SILAR法制备Cu-Sn-S系薄膜
3.1.1 制备工艺的探究
3.1.2 Cu-Sn-S薄膜的沉积机理研究
3.2 Cu-Sn-S薄膜的物相成分结构分析
3.2.1 薄膜的能量色散谱仪(EDS)分析
3.2.2 薄膜的X射线衍射仪(XRD)分析
3.2.3 薄膜的拉曼光谱(Raman)分析
3.2.4 薄膜的扫描电子显微镜(SEM)分析
3.3 Cu-Sn-S薄膜的光学、电学及热电性能表征
3.3.1 Cu-Sn-S薄膜的光学性质
3.3.2 Cu-Sn-S薄膜的电学性质
3.3.3 Cu-Sn-S薄膜的热电性质
3.4 本章小结
4 SILAR法制备Cu2ZnSnS4薄膜及太阳电池
4.1 SILAR法制备CZTS薄膜
4.1.1 制备工艺的探究
4.1.2 CZTS预制层薄膜成分调控
4.1.3 CZTS预制层薄膜的硫化热处理
4.2 热处理温度对薄膜影响
4.2.1 热处理温度对薄膜成分的影响
4.2.2 热处理温度对薄膜形貌的影响
4.2.3 热处理温度对薄膜物相结构的影响
4.2.4 热处理温度对器件性能的影响
4.3 保温时间对薄膜的影响
4.3.1 保温时间对薄膜形貌的影响
4.3.2 保温时间对薄膜物相结构的影响
4.3.3 保温时间对器件性能的影响
4.4 预制层薄膜叠层结构对薄膜的影晌
4.4.1 叠层结构对薄膜形貌的影响
4.4.2 叠层结构对薄膜物相结构的影响
4.4.3 叠层结构对器件性能的影响
4.5 本章小结
5 SILAR法制备柔性CZTS薄膜太阳电池
5.1 SILAR法制备柔性CZTS薄膜
5.2 柔性CZTS薄膜的成分、结构、形貌分析
5.2.1 薄膜的成分分析
5.2.2 薄膜的物相结构分析
5.2.3 薄膜的形貌分析
5.3 柔性CZTS薄膜太阳电池器件的表征
5.3.1 柔性CZTS薄膜太阳电池的器件Ⅰ-Ⅴ曲线分析
5.3.2 柔性CZTS薄膜太阳电池的器件效率损失机理分析
5.4 本章小结
6 结论与展望
参考文献
攻读学位期间主要学术成果
致谢
中南大学;