声明
第一章 引言
1.1 石墨烯的发现
1.2 石墨烯的基本结构与性质
1.3 石墨烯的制备、转移与表征
1.4 太赫兹与石墨烯等离子体波
1.5 本论文主要研究内容与意义
第二章 光栅-谐振腔耦合的石墨烯等离子体波模型
2.1 石墨烯场效应晶体管模型
2.2 光栅-谐振腔耦合的石墨烯等离子体波器件结构
2.3 石墨烯等离子体波模型
2.4 时域有限差分方法简介
2.5 FDTD仿真模拟
2.6本章小结
第三章 石墨烯等离子体波太赫兹器件的设计与加工
3.1 掩膜板设计
3.2 石墨烯层数与迁移率的表征
3.3 石墨烯等离子体波太赫兹器件的加工制备
3.4 本章小结
第四章 石墨烯等离子体波太赫兹器件的光电测试与分析
4.1 石墨烯材料及其器件漏电流测试
4.2 石墨烯场效应管电学测试与分析
4.3 石墨烯等离子体波太赫兹器件电学测试与分析
4.4 石墨烯太赫兹等离子体波调控的实验研究
4.5 本章小结
第五章 结论与展望
5.1 本文主要结论
5.2 展望
致谢
参考文献
作者在学期间取得的学术成果