声明
第一章 绪论
1.1 课题来源与意义
1.2 单晶硅材料的精密磨削概述及研究现状
1.3 论文主要研究内容
第二章 单晶硅精密磨削材料去除机理研究
2.1 磨削基本理论概述
2.2 单晶硅材料延性域磨削的实现条件分析
2.3 曲面单晶硅精密磨削形式选择
2.4 本章小结
第三章 曲面单晶硅磨削面形精度影响分析
3.1 面形精度的影响因素
3.2 对刀误差对面形精度的影响分析
3.3 砂轮磨损对面形精度的影响分析
3.4 砂轮修整工艺与震颤控制
3.5 迭代磨削工艺路线
3.6 本章小结
第四章 曲面单晶硅磨削亚表面缺陷分布规律研究
4.1 亚表面缺陷的检测手段
4.2 不同工艺参数下磨削力的变化规律
4.3 不同工艺参数下缺陷深度的变化规律
4.4 本章小结
第五章 高精度低损伤工艺优化磨削实验
5.1 实验方案与工艺规划
5.2 在位测量与补偿加工
5.3 实验结果与分析
5.4 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 全文总结
6.2 研究展望
致谢
参考文献
作者在学期间取得的学术成果