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目录
第1章 绪论
1.1介电薄膜
1.1.1钙钛矿结构介电薄膜
1.1.2介电薄膜的应用
1.1.3介电薄膜的制备技术
1.2异质叠层介电薄膜的研究现状与趋势
1.2.1异质叠层介电薄膜的制备与表征
1.2.2异质叠层介电薄膜的界面理论研究
1.3研究目的、意义及内容
第2章 CMTa-CT薄膜的制备与结构、性能分析
2.1实验原料与设备
2.2 CMTa-CT介电薄膜的制备
2.2.1前驱体溶液的制备
2.2.2 CMTa-CT薄膜的制备
2.3 CMTa-CT薄膜的结构与性能表征
2.3.1 薄膜微观结构与形貌表征
2.3.2薄膜的介电性能测试
第3章 CMTa和CT薄膜的制备与性能研究
3.1 CT薄膜的制备与性能研究
3.2 CMTa薄膜的制备与性能研究
3.3不同厚度CMTa薄膜的制备与性能研究
3.4本章小结
第4章 CMTa-CT异质薄膜的界面与性能研究
4.1底层对CMTa-CT异质薄膜的结构与性能影响
4.2界面对CMTa/CT异质薄膜的结构与性能影响
4.3本章小结
第5章 结论
参考文献
硕士期间发表论文、申请专利及项目情况
致谢