首页> 中文学位 >磁控溅射工艺参数对SnO2、FTO薄膜性能的影响
【6h】

磁控溅射工艺参数对SnO2、FTO薄膜性能的影响

代理获取

目录

声明

摘要

1.1引言

1.2 SnO2薄膜的结构性能简介

1.3.2 SnO2薄膜的掺杂

1.4 SnO2/FTO薄膜电学性能稳定性

1.5 SnO2/FTO薄膜的光学性能

1.6 SnO2/FTO薄膜的制备方法

1.7玻璃和PET衬底的选用

1.8本课题的研究内容和目的

2.1薄膜制备

2.2性能表征

2.2.1薄膜结构的表征

2.2.2薄膜电学性能表征

2.2.3薄膜光学性能表征

第3章在玻璃衬底上制备的SnO2薄膜的结构与性能

3.1 SnO2薄膜的结构形貌

3.1.1 XRD结构

3.1.2 AFM形貌

3.2 SnO2薄膜的电学性能

3.2.1导电性能

3.2.2电学性能稳定性

3.3 SnO2薄膜的光学性能

3.3.1透光性能

3.3.2光致发光性能

3.4本章小结

第4章在玻璃衬底上制备的FTO薄膜结构与性能

4.1 FTO薄膜的结构形貌

4.1.1 XRD结构

4.1.2 AFM形貌

4.2 FTO薄膜的电学性能

4.2.1导电性能

4.2.2湿热电学性能稳定性

4.3 FTO薄膜的光学性能

4.3.1透光性能

4.4.2光致发光性能

4.4本章小结

第5章在PET衬底上制备的FTO薄膜结构与性能

5.1 FTO薄膜的结构形貌

5.1.1 XRD结构

5.1.2 AFM形貌

5.2 FTO薄膜的电学性能

5.2.1导电性能

5.2.2湿热电学性能稳定性

5.3 FTO薄膜的光学性能

5.4本章小结

第6章全文总结

致谢

参考文献

附录

展开▼

著录项

  • 作者

    陶冶;

  • 作者单位

    武汉科技大学;

  • 授予单位 武汉科技大学;
  • 学科 材料科学与工程
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 祝柏林;
  • 年度 2019
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 中文
  • 中图分类
  • 关键词

    磁控; 溅射工艺参数; SnO2; 薄膜性能;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
代理获取

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号