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BaTiO半导瓷化学沉积欧姆电极材料及机理的研究

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第1章绪论

1.1 BaTiO3半导体陶瓷的基本特性

1.1.1 BaTiO3陶瓷的晶格结构

1.1.2纯BaTiO3晶体的缺陷模型利导电性能

1.1.3 BaTiO3陶瓷的半导化

1.1.4 BaTiO3系半导瓷的PTC效应

1.2 BaTiO3系半导瓷的欧姆电极

1.2.1金属半导体接触

1.2.2 BaTiO3系半导瓷PTC材料与金属之间的接触

1.2.3 BaTiO3系半导瓷元件欧姆电极的发展现状

1.2.4 BaTiO3系半导瓷元件欧姆电极形成的方法

1.3本文研究的主要目的和内容

第2章BaTiO3半导瓷化学沉积金属电极材料及机理研究

2.1化学沉积金属的研究概况

2.1.1概述

2.1.2化学沉积金属的发展历史及研究现状

2.1.3化学沉积金属存在的问题与当前的研究动向

2.2 BaTiO3半导瓷化学沉积金属电极材料的研究

2.2.1 BaTiO3系半导瓷化学沉积金属电极的基本要求

2.2.2 BaTiO3系半导瓷化学沉积金属电极的材料设计及技术路线

2.2.3 BaTiO3系半导瓷化学沉积金属电极材料的实验研究

2.2.4 BaTiO3系半导瓷化学沉积电极中络合剂的作用及热力学研究

2.2.5 BaTiO3系半导瓷上化学沉积金属电极的机理

2.3本章小结

第3章BaTiO3系半导瓷化学沉积电极工艺优化及成膜机理的研究

3.1概述

3.2 BaTiO3半导瓷化学沉积镍电极工艺的优化设计与实验

3.2.1正交实验设计理论

3.2.2 BaTiO3半导瓷化学沉积镍电极工艺的正交实验

3.3化学沉积镍电极中磷元素的作用及优化研究

3.3.1概述

3.3.2化学沉积镍层的原子结构

3.3.3影响化学沉积镍层中磷含量的因素

3.4化学沉积镍金属电极的成膜机理

3.4.1化学沉积镍层生长过程的微观结构

3.4.2化学沉积镍层的生长机理

3.5化学沉积铜电极工艺条件研究

3.5.1概述

3.5.2 BaTiO3系半导瓷元件上沉积金属铜电极的材料与工艺研究

3.6本章小结

第4章 化学沉积电极对BaTiO3系半导瓷电性能的影响

4.1化学沉积电极BaTiO3系半导瓷的接触电阻

4.1.1热处理对BaTiO3系半导瓷接触电阻的影响

4.1.2不同镍层的显微结构

4.2化学沉积电极对BaTiO3系热敏电阻PTC效应的影响

4.3化学沉积金属电极BaTiO3系半导瓷元件可靠性试验

4.3.1环境试验

4.3.2化学沉积电极BaTiO3系半导瓷元件的电冲击性能

4.3.3化学沉积镍电极厚度对BaTiO3半导瓷元件电性能的影响

4.3.4化学沉积镍电极BaTiO3半导瓷耐电压特性

4.4化学沉积欧姆电极BaTiO3半导瓷电冲击失效行为和失效机理的研究

4.4.1概述

4.4.2化学沉积电极BaTiO3半导瓷电冲击失效行为

4.4.3 BaTiO3半导瓷电冲击失效机理

4.5本章小结

第5章全文总结

致谢

攻读博士学位期间作为第一作者发表的论文

参考文献

附录攻读博士学位期间获得的科技成果

A1过载保护用PTC热敏电阻器(两个品种)

A2过流保护用高性能PTC陶瓷材料

A3过载保护用PTC元件专用测试仪表系列

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