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1绪论
1.1课题来源
1.2选题意义及背景
1.3 MEMS动态特性测试技术研究现状及发展趋势
1.4本文的主要研究内容
2MEMS三维动态测量原理
2.1光学系统组成及光路分析
2.2表面形貌测量原理
2.3全三维运动测量原理
2.4计算机精确同步控制
2.5本章小结
3图像降噪方法研究
3.1普通滤波方法
3.2旋滤波算法
3.3 SUSAN滤波
3.4图像预处理方案
3.5本章小结
4基于模板匹配的面内运动位移测量方法
4.1模板匹配的基本原理
4.2基于模板匹配的亚像素定位技术
4.3提高匹配速度
4.4面内运动位移高速高精计算方案
4.5面内运动位移算法的精度验证实验
4.6硅微陀螺仪的振动测量实验
4.7本章小结
5基于频闪干涉的离面运动测量技术
5.1传统相位去包裹算法
5.2路径跟踪去包裹算法
5.3路径无关去包裹算法
5.4离面运动测量算法
5.5离面运动测量实验
5.6本章小结
6MEMS三维动态测试系统简介
6.1测试系统软件的总体框架
6.2相位图数据存储技术
6.3基于OpenGL的三维显示技术
6.4计算机精确同步控制技术
6.5本章小结
7总结与展望
致谢
参考文献
附录1攻读学位期间发表论文目录
