平面电机功率驱动器的研究

摘要

光刻机是集成电路装备中最重要、最复杂的核心关键设备，其加工芯片的精度决定了芯片的集成度与性能，直接体现了一个国家的制造技术水平和能力。其中平面电机为核心部件，它要求大推力、高响应、高线性度以实现高速精密驱动，故对驱动器提出了严格的要求。本课题针对光刻加工对平面电机驱动器的实际需要，提出了一种采用大功率三级管组成的平面电机伺服驱动器结构，并进行了分析与设计。
　　 本文先介绍了功率放大电路的特点，并结合平面电机对驱动器的要求给出了系统的总体设计方案。接着根据平面电机驱动器的特点，设计了基于大功率三极管组成的功率驱动电路，成功的解决了一般功率放大电路所面临的一些问题，并在理论上对设计的可行性和合理性进行了仿真和分析。最后针对本课题设计的驱动器需要满足的性能分别作了放大电路部分的线性度测量实验、频响分析实验等。通过实验验证了设计思路。
　　 最后通过分析对比，说明了基于大功率三极管研制的平面电机驱动器的可行性，并对今后的工作提出了展望。