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目录
1 选题背景
1.1课题来源
1.2葡萄糖生物传感器的研究与发展
1.3基于C-MEMS的葡萄糖生物传感器的研究与进展
1.5论文主要内容
2 C-MEMS/NEMS集成结构的研究开发
2.1 C-MEMS结构的制备工艺
2.4 C-MEMS/SiOxNy集成结构的制备与表征
2.5 本章小结
3基于C-MEMS/NEMS的葡萄糖浓度检测器件的研究
3.2 C-MEMS-PPy/GOD电极对葡萄糖溶液的电流响应
3.3 C-MEMS/SWNTs-PPy/GOD电极对葡萄糖溶液的电流响应
3.4 C-MEMS/SiO2-PPy/GOD电极对葡萄糖溶液的电流响应
3.5 不同电极性能比较
4 结论与展望
4.1本文结论
4.2工作展望
致谢
参考文献
附 录 攻读硕士期间发表的论文