声明
1 引言
1.1课题研究背景
1.2课题研究意义
1.3国外研究现状
1.4论文主要内容以及章节安排
2 静电悬浮加速度计的理论热分析以及模型简化过程
2.1静电悬浮加速度计的实际模型
2.2静电悬浮加速度计的理论热分析
2.3静电悬浮加速度计的简化模型
2.4本章小结
3 基于FEM有限元软件的加速度计热分析仿真
3.1FEM有限元热分析仿真总体介绍
3.2加速度计热仿真前设置
3.3加速度计热仿真网格划分以及迭代计算
3.4仿真结果与分析
3.5本章小结
4 基于FEM有限元软件的加速度计热设计仿真
4.1热设计方案
4.2热设计方案仿真
4.3仿真结果与分析
4.4后续的一些仿真结果与分析
4.5本章小结
5 总结与展望
致谢
参考文献