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【6h】

MOSFET中近零介电常数的产生和表面等离激元模式特性

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1 绪论

1.1 引言

1.2近零介电常数材料

1.3表面等离激元模式和近零介电常数模式

1.4 ENZ的实现方式和应用

1.4.1ENZ的实现方式

1.4.2 近零介电常数材料的应用

1.4.3 存在的问题

1.5本论文的主要研究内容及章节安排

2 线性掺杂半导体材料中近零介电常数的产生及对电磁模式的影响

2.1 引言

2.2 半导体材料的复介电常数模型

2.3 线性掺杂三层Si平板中复介电常数分布和近零介电常数的产生

2.4 线性掺杂Si三层平板中的电磁模式

2.5 本章小结

3 MOSFET的电子调控机理和复介电常数分布

3.1 引言

3.2 MOSFET的能带结构及载流子调控机理

3.2.1 MOSFET的物理结构和能带结构

3.2.2 MOSFET的工作原理和工作模式

3.2.3 P型掺杂MOSFET中反型层的电子浓度分布和电压调控

3.3 MOSFET中复介电常数的分布及近零介电常数的产生

3.3.1 N沟道增强型MOSFET中的复介电常数分布和电压调控

3.3.2 N沟道增强型MOSFET中的近零介电常数的产生和电压调控

3.4 本章小结

4 MOSFET结构中的表面等离激元模式

4.1 引言

4.2 MOSFET结构中的电磁模式

4.3 MOSFET结构中近零介电常数对电磁场分布的影响

4.3.1 MOSFET结构中栅极电压(VGS)对混合表明等离激元模式的影响

4.3.2 MOSFET结构中漏极电压(VDS)对混合表面等离激元模式的影响

4.4 MOSFET结构中混合表面等离激元模式的局域特性

4.5 本章小结

5 总结与展望

5.1 总结

5.2 展望

致谢

参考文献

附录一:攻读学位期间发表论文目录

附录二:论文中数值计算所用参数值

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