基于结构光照明的表面形貌测量系统的研究

目录

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1绪论

1.1课题来源

1.2课题研究背景与意义

1.3国内外研究概况

1.3.1表面形貌测量一般状况

1.3.2 结构照明显微测量技术现状

1.4主要工作

2结构光照明光学层析原理及其特性分析

2.1分辨率准则

2.2点扩展函数与光学传递函数

2.3结构光照明显微镜光学层析原理

2.4结构光照明显微镜轴向层析特性

2.5本章小结

3结构光照明显微镜光机系统设计

3.1成像系统设计

3.2照明系统设计

3.2.1结构光照明条纹的调制原理

3.2.2结构光照明显微镜中的科勒照明原理

3.2.3基于成品透镜的结构光照明系统的设计与实现

3.2.4基于Zemax软件平台的结构光照明系统仿真与分析

3.3结构光照明显微镜的同步控制

3.4本章小结

4结构光照明显微镜的表面形貌重建

4.1层析图像提取算法的研究

4.1.1三步及多步相移法

4.1.2基于HiLo的两步法

4.1.3基于希尔伯特变换的两步相移法

4.2轴向响应曲线峰值定位算法的研究

4.2.1极值法

4.2.2重心法

4.2.3高斯拟合法

4.3结构光照明显微镜中的三维表面重建

4.4本章小结

5测试实验

5.1准确性与重复性测试

5.1.1 H=1.2μm单刻线测试

5.1.2与其他仪器的对比测试

5.2实际应用测试

5.3本章小结

6总结与展望

6.1全文总结

6.2展望

致谢

参考文献

附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文