1 绪论
1.1研究背景
1.2国内外研究概况
1.2.1 RIXS光学设计
1.2.2 RIXS线站本体设计
1.2.3 结构减振技术
1.3主要研究内容和研究意义
1.4本章小结
2 RIXS光学设计与仿真
2.1引言
2.2束线光路优化设计
2.2.1 设计原理及优化目标
2.2.2 优化设计方法
2.2.3 设计分析及参数计算
2.3谱仪光路设计
2.3.1 收集镜设计
2.3.2 光栅镜设计
2.4本章小结
3 RIXS线站本体设计
3.1引言
3.2线站技术指标及模块化设计
3.2.1 技术指标
3.2.2 线站模块化设计
3.3驱动元件设计和校核
3.3.1 出臂模块受力分析
3.3.2 丝杠设计计算
3.3.3 电机设计计算
3.3.4 导轨设计计算
3.5本章小结
4 RIXS探测器相对空间位置高精度控制方法研究
4.1引言
4.2迟滞特性及实验研究
4.2.1 实验平台搭建
4.2.2 迟滞曲线研究
4.3迟滞特性数学建模
4.3.1 迟滞数学建模方法
4.3.2 传统PI模型
4.3.3 改进PI模型
4.3.4 耦合动态模型
4.4迟滞前馈补偿技术
4.4.1 逆PI模型
4.4.2 前馈补偿方法
4.5本章小结
5 总结与展望
5.1全文总结
5.2课题展望
致谢
参考文献
附录1（不同光源能量下镜片表面照射面积）
附录2（攻读学位期间授权/申请专利目录）
