声明
摘要
第1章 绪论
1.1 课题背景
1.2 课题研究的目的和意义
1.3 国内外SEM下信息提取与控制的发展和研究现状
1.4 现有SEM下纳米操作信息提取和控制的技术缺陷
1.5 本文主要研究内容
第2章 探针平面位置坐标获取
2.1 现有系统的平面坐标提取方法简介
2.1.1 Hough变换边缘提取算法简介
2.1.2 Canny边缘检测算法简介
2.2 改进的边缘提取方法
2.2.1 Matlab工具箱边缘提取技术简介
2.2.2 Matlab工具箱边缘提取算子的比较
2.3 平面位置坐标提取方法
2.4 本章小结
第3章 探针深度位置坐标获取
3.1 实验图片的统计分析
3.1.1 针尖深度坐标确定的理论基础
3.1.2 图像的获取与处理
3.2 数据拟合与实验分析
3.2.1 离散数据拟合
3.2.2 实验分析
3.3 本章小结
第4章 探针轨迹规划
4.1 探针轨迹规划方法研究
4.1.1 三次函数轨迹规划方法
4.1.2 五次函数轨迹规划方法
4.2 仿真验证与分析
4.2.1 仿真验证
4.2.2 仿真结果分析
4.3 本章小结
第5章 探针轨迹跟踪控制
5.1 基于前馈和反馈联合控制的基本原理
5.2 参数不确定系统的误差分析
5.3 控制器的设计和优化计算基本原理
5.3.1 前馈控制器的设计和优化原理
5.3.2 反馈控制器设计原理
5.4 Attocube控制器设计及Matlab仿真分析
5.4.1 Attocube前馈和反馈控制器设计
5.4.2 Matlab仿真实验及分析
5.5 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间所发表的学术论文
致谢
哈尔滨理工大学;